中國教育報-中國教育新聞網(wǎng)訊(記者 程墨 通訊員 尚紫荊)近日,華中科技大學機械學院劉世元教授團隊成功研發(fā)出國內(nèi)首款完全自主可控、可用于芯片制造的OPC軟件,并實現(xiàn)成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化,填補了國內(nèi)在此方面的空白。
據(jù)劉世元介紹,光刻是芯片制造中最為關鍵的一種工藝,通過光刻成像系統(tǒng),將設計好的圖形轉(zhuǎn)移到硅片上。隨著芯片尺寸不斷縮小,硅片上的曝光圖形會產(chǎn)生畸變。在90nm甚至180nm以下芯片的光刻制造前,都必須采用一類名為OPC(光學臨近校正)的算法軟件進行優(yōu)化。沒有OPC,所有IC制造廠商將失去將芯片設計轉(zhuǎn)化為芯片產(chǎn)品的能力。目前,全球OPC工具軟件市場完全由Synopsys、Mentor、ASML—Brion等3家美國公司占領。
“從基礎研究到產(chǎn)業(yè)化應用,我們團隊整整走了十年。十年磨一劍,就是要解決芯片從設計到制造的卡脖子問題。下一步,我們將加快產(chǎn)品推廣步伐,加快進入國內(nèi)外芯片制造廠商市場,力爭成為全球芯片產(chǎn)業(yè)鏈中重要的一環(huán)。”劉世元說。
據(jù)悉,劉世元是華中科技大學集成電路測量裝備研究中心主任,同時也是光谷實驗室集成電路測量檢測技術創(chuàng)新中心主任。他早年師從華中理工大學前校長、著名機械學家楊叔子院士,于1998年獲工學博士學位。
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